一種薄膜晶片分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811625689.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111383941A 公開（公告）日 2020-07-07
申請公布號 CN111383941A 申請公布日 2020-07-07
分類號 H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 申兵兵;鄒金成 申請（專利權(quán)）人 深圳市永盛隆科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟德棟
地址 518112 廣東省深圳市龍崗區(qū)布吉街道金排社區(qū)東方盛世C棟2單元403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶片分離裝置，包括吸附旋轉(zhuǎn)組件、頂升組件和鎖緊組件，吸附旋轉(zhuǎn)組件包括吸板、固定座和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件，吸板的一端為連接端，一端為自由端，連接端與固定座轉(zhuǎn)動連接，吸板的下表面用于吸附晶片上的薄膜；頂升組件位于自由端的下方，頂升組件帶動吸板向上運動，使得薄膜與晶片部分分離；鎖緊組件設(shè)置于固定座上，用于將吸板鎖緊固定，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件與固定座連接，以驅(qū)動固定座帶動吸板轉(zhuǎn)動。本發(fā)明設(shè)置頂升組件來輔助分離，破解薄膜與晶片之間的液體張力，可以有效提高分離的成功率，減少分離失敗引起的時間浪費，提高產(chǎn)能。