一種用于薄膜生長(zhǎng)設(shè)備的偏置射頻和直流電源的輸送裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111427195.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114094386A | 公開（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114094386A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-25 |
| 分類號(hào) | H01R13/622（2006.01）I;H01R4/60（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 蔡宇航;金補(bǔ)哲;葉新浩;厲冰峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海老虎專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 葛瑛 |
| 地址 | 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于薄膜生長(zhǎng)設(shè)備的偏置射頻和直流電源的輸送裝置，包括：靜電吸盤，所述靜電吸盤的上部設(shè)置有連接頭與靜電吸盤之間固定連接，所述連接頭的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，所述連接頭的上部設(shè)置有銅棍且銅棍的頂部設(shè)置有插接頭，所述插接頭與偏置匹配器之間相連接。本發(fā)明將銅條部分更換成銅棍，其橫截為圓形，面積更大，可以滿足更大的負(fù)荷電流，同時(shí)散熱性能更好，減少發(fā)生電腐蝕的幾率；偏置匹配器端將接頭和銅棍合體，這樣減少了一個(gè)腐蝕部位；將靜電吸盤端做成分離結(jié)構(gòu)，使得連接頭依舊可以固定在靜電吸盤背面，另一端可以通過螺紋擰進(jìn)去，這樣如果銅棍另一頭發(fā)生腐蝕，可以直接擰下來(lái)更換，不需要打開腔體，分解靜電吸盤。 |
