應用于缺陷高度測量的方法及裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202210115378.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN114152626A | 公開（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申請公布號 | CN114152626A | 申請公布日 | 2022-03-08 |
| 分類號 | G01N21/88（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 蘭海燕;康時俊;沈曙光 | 申請（專利權）人 | 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司 |
| 代理機構 | 上海市匯業(yè)律師事務所 | 代理人 | 王函 |
| 地址 | 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種應用于缺陷高度測量的方法及裝置，其中，方法包括將相機對準待檢測缺陷；帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動，并控制所述相機每移動系統(tǒng)預設間隔距離就進行一次拍攝，以拍攝到的各張圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和與所述相機的位移距離為依據，獲取所述待檢測缺陷的高度。通過本發(fā)明的方法及對應的裝置利用拍攝到的缺陷的照片的灰度差值的差異與相機的移動距離來獲得缺陷高度，可基于普通相機也能滿足對缺陷高度進行檢測的需求，有效降低檢測成本，提高適應性，且保障了檢測的精度及檢測的效率，有效控制產品的質量。 |
