一種石英半導體研磨盤及應用該研磨盤的研磨設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122102968.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216030144U 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN216030144U 申請公布日 2022-03-15
分類號 B24B37/11（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王衛(wèi)良;李士昌;劉超平;林保璋;曹飛 申請（專利權）人 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種石英半導體研磨盤，包括盤體，盤體的一端面開設有若干料槽。本申請具有在研磨之前，將研磨劑填充在料槽中，隨之啟動驅動電機帶動研磨盤轉動，料槽中填充的研磨劑在離心力的作用下從料槽中溢出，研磨盤通過從料槽中溢出的研磨劑對石英件進行研磨，在料槽的限制下，有效研磨劑不易大量地在研磨盤的離心力的作用下從研磨盤上被甩飛，降低了有效研磨劑的浪費的同時，料槽中預填充的研磨劑會在研磨盤離心力的作用下對研磨盤頂壁上的研磨劑量進行補充，減少了工作人員停機補充研磨劑的次數(shù)，進而提高了研磨效率的效果。