用于線掃瞄自動光學檢測系統(tǒng)的自動對焦裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111611765.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114166754A 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN114166754A 申請公布日 2022-03-11
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蘭海燕;康時俊;沈曙光 申請（專利權）人 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
代理機構 上海市匯業(yè)律師事務所 代理人 王函
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于線掃瞄自動光學檢測系統(tǒng)的自動對焦裝置，其中，包括：光學檢測設備固定模塊，用于固定光學檢測設備；晶圓升降承載模塊，用于承載晶圓，并帶動晶圓移動，且晶圓升降承載模塊位于光學檢測設備下方；距離檢測模塊，設于自動對焦裝置中能夠檢測到晶圓與光學檢測設備之間的間隔距離的位置，且距離檢測模塊與晶圓升降承載模塊相連接。采用該自動對焦裝置通過固定光學檢測設備，采用晶圓升降承載模塊調(diào)節(jié)晶圓位置來實現(xiàn)調(diào)焦，可更好地對晶圓進行拍攝，有效縮短整定時間，更令光學檢測設備可更快地完成調(diào)焦，并且由于晶圓整體結(jié)構較輕，其并不會在垂直方向產(chǎn)生很大的慣量，從而降低對制動馬達扭力的要求。