一種薄膜生長(zhǎng)設(shè)備腔體的電動(dòng)開關(guān)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111427198.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114141568A 公開（公告）日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN114141568A 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) H01H23/12（2006.01）I;H01H23/08（2006.01）I;H01H23/04（2006.01）I;H01H23/16（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡宇航;金補(bǔ)哲;葉新浩;厲冰峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海老虎專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 葛瑛
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜生長(zhǎng)設(shè)備腔體的電動(dòng)開關(guān)裝置，包括：裝置本體，裝置本體的底部安裝有底座，裝置本體的頂面中部形成有內(nèi)腔，裝置本體的上方設(shè)置有上蓋，裝置本體的側(cè)壁上固定連接有電動(dòng)搖桿組件；電動(dòng)搖桿組件包括固定盒、電機(jī)、托塊和電動(dòng)馬達(dá)，電動(dòng)馬達(dá)和固定盒均與裝置本體側(cè)壁固定連接，且固定盒設(shè)置在電動(dòng)馬達(dá)的外側(cè)，電機(jī)安裝在固定盒的底部，電機(jī)的動(dòng)力輸出端和電動(dòng)馬達(dá)的動(dòng)力輸入端分別安裝有齒輪且兩個(gè)齒輪嚙合連接。本發(fā)明通過電動(dòng)的方式來代替現(xiàn)有技術(shù)中人工操作，電動(dòng)搖桿操作簡(jiǎn)單，只需要點(diǎn)擊遙感器上的開關(guān)就可以控制腔體的開關(guān)，遙感器有電源延長(zhǎng)線，可以做到不接觸腔體來控制腔體開關(guān)，避免了一些突發(fā)狀況的發(fā)生。