一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111499889.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114086152A 公開（公告）日 2022-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN114086152A 申請(qǐng)公布日 2022-02-25
分類號(hào) C23C16/40（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉洋;金補(bǔ)哲;葉新浩;厲冰峰;蔡宇航 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 盛吉盛（寧波）半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海市匯業(yè)律師事務(wù)所 代理人 王函
地址 315100浙江省寧波市鄞州區(qū)云龍鎮(zhèn)石橋村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提出一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述設(shè)備包括：遠(yuǎn)程等離子體源；反應(yīng)室；真空泵；用于連接該遠(yuǎn)程等離子體源和該反應(yīng)室的進(jìn)氣管道，主清潔氣體通過該進(jìn)氣管道從該遠(yuǎn)程等離子體源進(jìn)入該反應(yīng)室；用于連接該反應(yīng)室和該真空泵的排氣管道；該進(jìn)氣管道上有一支路管道，接入支路清潔氣體。進(jìn)一步地，該排氣管道呈入口端窄，出口端寬的形狀。本發(fā)明提供的改進(jìn)，有效提高了吹掃進(jìn)氣管道內(nèi)壁上的沉積物形成的污染物的效率，還提高了清潔效率，從而延長(zhǎng)了進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)的周期，也就是增加了單位時(shí)間內(nèi)設(shè)備得到有效使用的時(shí)間，因此大幅降低了生產(chǎn)成本。