一種半導(dǎo)體器件制備過(guò)程的監(jiān)控系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010051430.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113140479A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113140479A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H04N7/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 金星勛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫芯享信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙華
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園G10-1006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件制備過(guò)程的監(jiān)控系統(tǒng)及方法，包括控制主機(jī)、監(jiān)控終端、云平臺(tái)，所述控制主機(jī)分別與反饋模塊、數(shù)據(jù)處理模塊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊連接；所述控制主機(jī)與監(jiān)控終端連接，所述控制主機(jī)與云平臺(tái)進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，所述監(jiān)控終端設(shè)有視頻模塊,本系統(tǒng)可以對(duì)半導(dǎo)體器件制備過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控，保證半導(dǎo)體器件制備的順利，節(jié)約成本，全方面監(jiān)控，減少人力。