一種晶圓自動(dòng)化生產(chǎn)控制系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010051444.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113138586A 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113138586A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) G05B19/418（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 金星勛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫芯享信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市朗高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙華
地址 214000江蘇省無錫市新吳區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園G10-1006
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓自動(dòng)化生產(chǎn)控制系統(tǒng)及方法，包括1、控制模塊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、通訊模塊、檢測(cè)模塊、自動(dòng)化設(shè)備平臺(tái)和自動(dòng)化設(shè)備；控制模塊進(jìn)行對(duì)自動(dòng)化設(shè)備平臺(tái)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、通訊模塊和檢測(cè)模塊的控制；通訊模塊進(jìn)行對(duì)控制模塊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、檢測(cè)模塊、自動(dòng)化設(shè)備平臺(tái)和自動(dòng)化設(shè)備的數(shù)據(jù)傳輸；自動(dòng)化設(shè)備平臺(tái)進(jìn)行接收指令對(duì)自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行起閉；自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行對(duì)晶元的各類生產(chǎn)操作；檢測(cè)模塊進(jìn)行對(duì)自動(dòng)化設(shè)備生產(chǎn)晶圓的過程和成品的檢測(cè)；數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊進(jìn)行對(duì)自動(dòng)化設(shè)備平臺(tái)、檢測(cè)模塊的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，提高自動(dòng)化監(jiān)測(cè)效果和有效保證數(shù)據(jù)的安全性。