一種鈣鈦礦晶硅疊層太陽能電池制作方法及電池結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110835841.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113690340A 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN113690340A 申請公布日 2021-11-23
分類號 H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216;H01L27/30 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 深圳黑晶光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東廣盈專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李俊
地址 518101 廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道大浪社區(qū)裕安二路362號大家好廣場廠房B棟502
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鈣鈦礦晶硅疊層太陽能電池制作方法，包括如下步驟：S100、對P型硅片的底部表面進(jìn)行制絨，頂部表面進(jìn)行制絨或者拋光，形成硅片基底；S200、采用包括但不限于熱生長法，原子沉積法或等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法在所述硅片基底底部表面制成底部鈍化層，并通過包括但不限于激光刻蝕開孔的方法對底部鈍化層進(jìn)行開孔，形成底電極開孔鈍化層。還包括方法制作的電池結(jié)構(gòu)。本發(fā)明直接采用雙面鈍化的且可以獨(dú)立作為太陽能電池使用的電池結(jié)構(gòu)，同時(shí)具有有效的重?fù)诫s復(fù)合層，以形成整體的電池結(jié)構(gòu)，并依據(jù)這種結(jié)構(gòu)提供結(jié)構(gòu)的制作方法，精良高效；本方案形成的電池結(jié)構(gòu)開路電壓高、制備成本低廉，光電效率高。