一種應用真空閃蒸輔助狹縫涂布的鈣鈦礦薄膜制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111195048.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113871538A 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN113871538A 申請公布日 2021-12-31
分類號 H01L51/48（2006.01）I;H01L51/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董弋;徐誠;易海芒;王知萌;黃志榮 申請（專利權）人 深圳黑晶光電技術有限公司
代理機構 廣東廣盈專利商標事務所（普通合伙） 代理人 李俊
地址 518101廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道大浪社區(qū)裕安二路362號大家好廣場廠房B棟502
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種應用真空閃蒸輔助狹縫涂布的鈣鈦礦薄膜制備方法，其中，所述方法包括：配制鈣鈦礦的前驅體溶液；基于所述前驅體溶液利用多段式注液工藝配合狹縫涂布制備鈣鈦礦的前驅體薄膜；基于真空閃蒸工藝輔助所述前驅體薄膜的成膜處理，獲得所述鈣鈦礦的前驅體成膜；將所述鈣鈦礦的前驅體成膜在熱臺上進行退火處理，獲得鈣鈦礦薄膜。在本發(fā)明實施例中，具有操作簡單、可操作性與穩(wěn)定性強等特點，適合連續(xù)制造大面積鈣鈦礦薄膜層，在鈣鈦礦太陽能電池的產(chǎn)業(yè)化應用具有巨大的潛在價值。