一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120176836.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213936137U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213936137U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) H01L21/67;B08B15/04 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張靜;鄧信甫;徐銘;陳佳煒;李志鋒;劉大威 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 至微半導(dǎo)體（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉富艷
地址 200000 上海市閔行區(qū)紫海路170號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，其技術(shù)方案要點(diǎn)是包括氣流空間，氣流空間位于外殼頂部，氣流空間內(nèi)設(shè)置有分隔部和導(dǎo)流部，通過(guò)分隔板將氣流空間分成第一空間和第二空間，機(jī)器手臂區(qū)域位于第一空間下方，工藝槽體區(qū)域位于第二空間下方，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至第二空間，通過(guò)分隔板使得酸氣難以進(jìn)入第一空間，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，將第一導(dǎo)流板設(shè)置于第一空間內(nèi)，將第二導(dǎo)流板設(shè)置于第二空間內(nèi)，且第一導(dǎo)流板和第二導(dǎo)流板均傾斜設(shè)置，F(xiàn)FU系統(tǒng)中的氣流從上往下流經(jīng)第二導(dǎo)流板之后，氣流的流速變快，從而帶動(dòng)酸氣遠(yuǎn)離第二空間。