一種大尺寸公斤級碳化硅單晶生長用坩堝
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020782967.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212895082U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212895082U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | C30B23/00(2006.01)I;C30B29/36(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 劉欣宇;袁振洲 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 王佳妹 |
| 地址 | 225000江蘇省揚州市儀征市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)閩泰大道9號A5棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種大尺寸公斤級碳化硅單晶生長用坩堝，包括坩堝蓋和坩堝體，所述坩堝蓋與籽晶連接，坩堝體為碳化硅單晶生長腔體。針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型的目的在于傳統(tǒng)碳化硅晶體生長用坩堝不能同時解決大尺寸、公斤級、高質(zhì)量的問題，提供一種新型圓臺裝側(cè)壁開孔坩堝。?? |
