一種碳化硅單晶生長(zhǎng)爐自動(dòng)裝爐裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120476163.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214400807U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN214400807U 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類號(hào) C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I;F27D3/12（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉欣宇;袁振洲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇超芯星半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市創(chuàng)富知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林霞
地址 210000江蘇省南京市中國(guó)（江蘇）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)南京片區(qū)研創(chuàng)園團(tuán)結(jié)路99號(hào)孵鷹大廈2189室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種碳化硅單晶生長(zhǎng)爐自動(dòng)裝爐裝置，包括車體，其中：所述車體底部固設(shè)有讀碼器，且所述讀碼器對(duì)鋪設(shè)在工作區(qū)域地面上的二維碼標(biāo)識(shí)進(jìn)行采集及識(shí)別；所述車體頂部設(shè)有自動(dòng)升降裝置，且所述自動(dòng)升降裝置頂部設(shè)有平衡托盤，本實(shí)用新型通過(guò)在車體上設(shè)置讀碼器和自動(dòng)升降裝置，使得車體能夠基于鋪設(shè)在工作區(qū)域地面上的二維碼標(biāo)識(shí)進(jìn)行相應(yīng)運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)自動(dòng)升降裝置對(duì)帶有生長(zhǎng)熱場(chǎng)的爐底板進(jìn)行自動(dòng)裝爐和出爐，實(shí)現(xiàn)無(wú)需人工干預(yù)的出爐或裝爐，節(jié)省人工成本，提高出裝爐效率。