一種精確定溫的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910109811.8 申請日 -
公開(公告)號 CN111551254A 公開(公告)日 2020-08-18
申請公布號 CN111551254A 申請公布日 2020-08-18
分類號 G01J5/00(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 劉欣宇;袁振洲 申請(專利權)人 江蘇超芯星半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 100101北京市通州區(qū)經海五路1號院58號樓1層2-101-1005
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種精確定溫的方法,包括:選擇已知固定熔點的純凈物質,所述純凈物質的熔點為Tm;將所述純凈物質置于測溫點附近;在設備升溫過程中,在所述純凈物質熔化或升華的瞬間,將所述測溫點的溫度T1定溫為Tm;測溫儀的實際度數(shù)校準為Tm。本發(fā)明利用純凈物質在固定溫度熔化或升華的原理,進行定溫。成功解決(1)難以或無需測溫過程,又需要參考溫度;(2)揮發(fā)物遮擋或堵塞測溫口,測溫儀難以對準或接觸到被測物質;(3)測溫儀校準的問題。提高了測溫值的準確度,并可對設備的溫度進行連續(xù)測量,使系統(tǒng)能夠對溫度數(shù)據進行實時采集、實時分析處理,有效控制設備的運行過程。??