適用于藍寶石拋光的化學機械拋光液
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201810561828.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN108997940B | 公開（公告）日 | 2021-01-19 |
| 申請公布號 | CN108997940B | 申請公布日 | 2021-01-19 |
| 分類號 | C09G1/02;B24B29/00 | 分類 | 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用; |
| 發(fā)明人 | 張澤芳;彭詩月 | 申請（專利權）人 | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 代理機構 | 上海光華專利事務所（普通合伙） | 代理人 | 張新鑫;許亦琳 |
| 地址 | 201799 上海市青浦區(qū)青安路958、968號4幢3層S區(qū)329室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種藍寶石襯底拋光的氧化鋁基的化學機械拋光液及其用途，所述化學機械拋光液至少包括以下重量份的組分：氧化鋁拋光顆粒：35～55份；氧化劑：5～12份；優(yōu)選為7~10份；速率促進劑0.1～10份；分散劑2～5份；優(yōu)選為3~4份；pH調節(jié)劑適量，水適量。從機械角度和化學角度提高了拋光液的拋光速率，此外，氧化鋁分散性好，降低了表面缺陷如劃痕等的發(fā)生率，提高了表面質量。 |
