含無氟光致產(chǎn)酸劑的可降解型樹脂單體及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110695006.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113429377A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN113429377A 申請公布日 2021-09-24
分類號 C07D317/72（2006.01）I;C07C381/12（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 傅志偉;潘新剛;邵嚴亮;薛富奎;余文卿 申請（專利權(quán)）人 徐州博康信息化學(xué)品有限公司
代理機構(gòu) 合肥鴻知運知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王金良
地址 221300江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)化工聚集區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于可降解型光刻膠樹脂單體，公開了一種含無氟光致產(chǎn)酸劑的可降解型樹脂單體及其制備方法和應(yīng)用，其結(jié)構(gòu)通式如下：1其中，P1、P3、P3各自獨立的為氫或者烷基。其制備方法為，丙二酰氯Ⅰ與4?羥甲基環(huán)己酮經(jīng)酯化反應(yīng)形成中間體Ⅱ；中間體Ⅱ經(jīng)磺化反應(yīng)生成中間體Ⅲ；中間體Ⅲ與三苯基鹵化硫或者取代苯基鹵化硫反應(yīng)生成中間體Ⅳ；中間體Ⅳ與2?甲基?2?丙烯酸?2,3?二羥基丙酯反應(yīng)形成半縮醛結(jié)構(gòu)的樹脂單體Ⅴ。本發(fā)明的樹脂單體結(jié)合有光致產(chǎn)酸劑，具有防止光致產(chǎn)酸劑的擴散，改善邊緣粗糙度，增加對比度，提高分辨率的性能，且制備方法簡單方便。