一種金屬螺旋微納結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811490931.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109375477B 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN109375477B 申請公布日 2021-09-10
分類號 G03F7/20;G03F7/16;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/04 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉凱;王天堃 申請（專利權(quán)）人 中山科立特光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王新愛
地址 528458 廣東省中山市五桂山商業(yè)街118號4樓501房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微納結(jié)構(gòu)制備領(lǐng)域，具體涉及一種金屬螺旋微納結(jié)構(gòu)的制備方法，采用涂敷光刻膠，再用電子束刻蝕，最后顯影定影的方法制備金屬螺旋結(jié)構(gòu)。制備過程只需將寫場對準(zhǔn)一次，分別曝光四個區(qū)域，且只需要蒸鍍一次就可以制備出金屬螺旋型結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)四周都由光刻膠包圍著，可以起到保護(hù)金屬螺旋微納結(jié)構(gòu)的作用。