一種具有高深寬比的母版的制作方法、母版及其應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010066772.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113138530A 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN113138530A 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 基亮亮;周小紅;劉麟躍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州維業(yè)達(dá)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海波拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周志中
地址 215026江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)新昌路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種具有高深寬比的母版的制作方法，包括：提供一襯底；在襯底上制備一傳遞層；在傳遞層制備一具有第一圖形凹槽的結(jié)構(gòu)層；對(duì)第一圖形凹槽進(jìn)行刻蝕，直至達(dá)到所需深度的第三圖形凹槽，得到母版，其中，第三圖形凹槽包括設(shè)置于傳遞層的第一圖形凹槽，及設(shè)置于傳遞層和結(jié)構(gòu)層的第二圖形凹槽。本發(fā)明還公開一種具有高深寬比的模具的制作方法，對(duì)上述母版進(jìn)行翻版，得到具有高深寬比的模具。本發(fā)明還公開了一種具有高深寬比的母版，采用上述具有高深寬比的母版的制作方法制作。本發(fā)明還公開一種具有高深寬比的模具，采用上述具有高深寬比的模具的制作方法制作。通過(guò)上述方法，便于制作高深寬比的第三圖形凹槽，同時(shí)對(duì)各層的可控性強(qiáng)。