一種高穩(wěn)定性的MEMS諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121823251.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215912082U 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN215912082U 申請公布日 2022-02-25
分類號 H03H9/24（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 鄧侃 申請（專利權）人 杭州左藍微電子技術有限公司
代理機構 重慶中之信知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 張園
地址 浙江省杭州市拱墅區(qū)東新路690號602A-602B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出的高穩(wěn)定性的MEMS諧振器中，振動主體是由第一形狀的外輪廓和第二形狀的內輪廓限定的環(huán)狀結構，根據彈性波傳播速度的傳播輪廓來設計振動主體的內外輪廓形狀，通過令第一形狀中心點到外輪廓上各邊緣點的距離與對應方向上彈性波傳播速度在振動主體材料中的大小成相同的比例，使得MEMS諧振器產生純體積諧振模態(tài)，從而提高了MEMS諧振器的穩(wěn)定性和可靠性。實施例中還給出令振動主體的內外輪廓形狀都與振動主體材料在平面內的彈性波傳播速度的傳播輪廓相一致，并且內外輪廓形狀可不一致的方案，提高了MEMS諧振器對不同振動方式的適應性。另外通過將錨結構設置在振動主體中心，支撐結構對稱設置在錨結構和振動主體之間，減少了能量損失。