聲表面波諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011540661.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112886941A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN112886941A 申請公布日 2021-06-01
分類號 H03H9/25;H03H3/08 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 鄭根林;張樹民 申請（專利權）人 杭州左藍微電子技術有限公司
代理機構 重慶中之信知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 梁欣
地址 310000 浙江省杭州市下城區(qū)紹興路398號國投大廈1420室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了聲表面波諧振器，包括壓電基板以及位于所述壓電基板表面上的叉指換能器，所述壓電基板上具有凹陷部并設有用于填充所述凹陷部的減速層，所述減速層與所述叉指換能器的電極接觸以降低在接觸位置所在區(qū)域的聲速；所述接觸位置在非中心區(qū)域。本發(fā)明還公開了聲表面波諧振器的制造方法。本發(fā)明可消減橫向模式。