太陽能硅片高速線掃描光致熒光成像檢測設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310155633.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104122266A 公開（公告）日 2014-10-29
申請公布號 CN104122266A 申請公布日 2014-10-29
分類號 G01N21/88(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳利平;李波;裴世鈾 申請（專利權(quán)）人 蘇州中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 昆山四方專利事務(wù)所 代理人 蘇州中導(dǎo)光電設(shè)備有限公司
地址 215311 江蘇省蘇州市昆山市巴城鎮(zhèn)臨港工業(yè)園瑞安路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能硅片高速線掃描光致熒光成像檢測設(shè)備，包括機架、硅片傳送機構(gòu)、激光發(fā)生裝置、熒光成像模塊和圖像采集-處理模塊，所述激光發(fā)生裝置、至少一個熒光成像模塊和圖像采集-處理模塊分別固設(shè)于機架上，硅片傳送機構(gòu)能夠輸送待檢測硅片到達(dá)檢測位置，激光發(fā)生裝置能夠發(fā)射垂直于硅片運動方向的激光線并照射檢測位置的待檢測硅片，熒光成像模塊能夠?qū)z測位置的硅片發(fā)出的熒光信號進(jìn)行探測并傳信于圖像采集-處理模塊進(jìn)行分析和處理，本發(fā)明極大的提高了光致熒光成像技術(shù)對硅材料的檢測速度和最終圖像的信噪比，適合產(chǎn)線上的實時檢測應(yīng)用。