一種提高硅片表面金屬含量測試效率的治具載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121339792.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215894531U 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN215894531U 申請公布日 2022-02-22
分類號 G01N33/00（2006.01）I;B25H1/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張立安;吳雄杰;王志雄;白超;沈益軍;肖世豪;潘金平;許琴;陳伯弘;任蔓青 申請（專利權）人 浙江海納半導體股份有限公司
代理機構 溫州青科專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 錢磊
地址 324300浙江省衢州市開化縣華埠鎮(zhèn)萬向路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種提高硅片表面金屬含量測試效率的治具載臺，本實用新型，包括轉盤底座，所述轉盤底座外表面的底部通過轉軸轉動安裝有支撐腿，所述支撐腿的外表面安裝有透明橡膠套，所述轉盤底座外表面的頂部轉動安裝有軸承，所述轉盤底座的內部安裝有小型電機，所述小型電機的輸出端安裝有載臺。本實用新型，在轉盤底座設置有小型電機，同時載臺和轉盤底座的連接處設置有軸承，通過小型電機輸出端的轉動，帶動載臺旋轉，從而實現(xiàn)載臺內部的硅片與試劑充分混合目的，不用手工搖片的方法，也能達到硅片與試劑充分混合目的，同時提高了產(chǎn)品進行金屬含量檢測的效率，也避免出現(xiàn)人為因素造成檢測結果數(shù)據(jù)不準確的問題。