圖形生長襯底

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110355382.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103094443A 公開（公告）日 2013-05-08
申請公布號 CN103094443A 申請公布日 2013-05-08
分類號 H01L33/20(2010.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭暉 申請（專利權(quán)）人 亞威朗光電（中國）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 314305 浙江省海鹽縣海鹽經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)大橋新區(qū)銀灘路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示一種圖形生長襯底，包括：生長襯底，形成在生長襯底上的隔離帶，隔離帶把生長襯底分隔成至少兩個(gè)子區(qū)域。子區(qū)域的形狀包括，多邊形、圓形、環(huán)形、非規(guī)則形狀，以及多邊形、圓形、環(huán)形和非規(guī)則形狀的組合，等。其中，子區(qū)域的多邊形形狀包括，正三角形、正方形、長方形、平行四邊形、正六邊形，等。隔離帶的厚度為1埃至10微米，隔離帶的寬度為：≥2x(預(yù)計(jì)的外延層生長的厚度-隔離帶的厚度)。生長襯底進(jìn)一步包括邊緣隔離帶，邊緣隔離帶形成在生長襯底的圓周的邊緣。邊緣隔離帶的形狀包括園環(huán)形狀和齒狀環(huán)形狀，等。