一種半導(dǎo)體和二維材料的組合功率器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810750083.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108878423A 公開（公告）日 2018-11-23
申請公布號 CN108878423A 申請公布日 2018-11-23
分類號 H01L27/095;H01L21/8258 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉新科;胡聰;王佳樂 申請（專利權(quán)）人 山西鎵能半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市恒申知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深圳大學(xué)
地址 518060 廣東省深圳市南山區(qū)南海大道3688號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體和二維材料的組合功率器件及其制備方法，該組合功率器件包括設(shè)置在同一襯底上的異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管和二維材料晶體管，其中襯底上設(shè)置有二維材料層以及依次設(shè)置于襯底的GaN層、AlGaN層，AlGaN層與二維材料層上的兩端設(shè)置有歐姆接觸電極、肖特基接觸電極。該組合功率器件中的異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管和二維材料晶體管設(shè)置于同一襯底上，即該組合功率器件不僅具有異質(zhì)結(jié)場效應(yīng)晶體管大擊穿電場、高電子飽和速率、抗輻射能力強及良好的化學(xué)穩(wěn)定性等特點，還具有二維材料晶體管的高能效、可運用于柔性屏，高分辨率液晶顯示器和有機發(fā)光二極管顯示器等領(lǐng)域的特點，因此本發(fā)明提供的組合功率器件具有更廣的應(yīng)用范圍。