硅片生產(chǎn)控制方法、電子設備和計算機可讀存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011211356.1 申請日 -
公開(公告)號 CN112527586A 公開(公告)日 2021-03-19
申請公布號 CN112527586A 申請公布日 2021-03-19
分類號 G06F11/26;G06F11/36 分類 計算;推算;計數(shù);
發(fā)明人 周坤;李世鑫 申請(專利權(quán))人 上海賽美特軟件科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海晨皓知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 代理人 成麗杰
地址 201103 上海市閔行區(qū)吳中路1199號1幢872室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及硅片制造領(lǐng)域,公開了一種硅片生產(chǎn)控制方法、電子設備和計算機可讀存儲介質(zhì)。上述硅片生產(chǎn)控制方法包括:獲取待處理硅片上的晶圓體的測試信息;根據(jù)所述測試信息,確定所述待處理硅片的良率;根據(jù)所述良率和預設的N個良率區(qū)間,確定所述待處理硅片所屬的良率區(qū)間;其中,N是大于2的整數(shù);根據(jù)所述待處理硅片所屬的良率區(qū)間,對所述待處理硅片進行與所述所屬的良率區(qū)間相對應的處理。本發(fā)明實施例提供的硅片生產(chǎn)控制方法,可以改善硅片生產(chǎn)一刀切的情況,對硅片的生產(chǎn)過程進行精細化管理,從而縮短硅片生產(chǎn)周期,提高硅片的生產(chǎn)效率。