一種掩模版、運動臺定位誤差補償裝置及補償方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910152262.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111624856B 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN111624856B 申請公布日 2021-10-15
分類號 G03F7/20（2006.01）I;G03F9/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 吳麗麗 申請（專利權(quán)）人 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 201203上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)張東路1525號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種掩模版、運動臺定位誤差補償裝置及補償方法。所述掩模版包括測量標記；所述測量標記包括至少一個測量單元，所述測量單元包括兩個標記組，所述標記組包括X向標記和Y向標記，所述X向標記包括至少一個X向光柵和X向定位標記，所述Y向標記包括至少一個Y向光柵和Y向定位標記；所述兩個標記組包括第一標記組和第二標記組，所述第一標記組定位的中心為第一中心，所述第二標記組定位的中心為第二中心，所述測量標記順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)90°后，所述第一中心與未旋轉(zhuǎn)前所述第二中心重合。本發(fā)明實施例提供的技術(shù)方案，實現(xiàn)了運動臺高階形變的校正，且可適用于在線周期性校準。