一種新型SAW濾波器的工藝制造流程

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110254501.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113067560A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113067560A 申請公布日 2021-07-02
分類號 H03H9/64;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 王小偉;劉亞娟;汪洋 申請（專利權(quán)）人 上海萍生微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京海虹嘉誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳小燦
地址 201210 上海市浦東新區(qū)盛夏路570號808-809室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型SAW濾波器的工藝制造流程，通過在晶圓層上表面的粘合層上采用不同的金屬材質(zhì)形成不同厚度的刻蝕線路件，能夠有利于形成可控的良好的電路側(cè)壁形貌，避免因同一材質(zhì)而產(chǎn)生的對較薄層刻蝕線路件的過度刻蝕，從而提高SAW濾波器產(chǎn)品良率和產(chǎn)量。