半導(dǎo)體裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201880002603.1 申請日 -
公開(公告)號 CN109417093B 公開(公告)日 2021-08-31
申請公布號 CN109417093B 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L29/739;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/861;H01L29/868 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 阿形泰典;吉村尚;瀧下博 申請(專利權(quán))人 富士電機(jī)株式會(huì)社
代理機(jī)構(gòu) 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 金玉蘭;王穎
地址 日本神奈川縣川崎市
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供具有緩沖區(qū)的半導(dǎo)體裝置。半導(dǎo)體裝置具備:第一導(dǎo)電型的半導(dǎo)體基板;第一導(dǎo)電型的漂移層,其設(shè)置于半導(dǎo)體基板;以及緩沖區(qū),其設(shè)置于漂移層,具有多個(gè)第一導(dǎo)電型的摻雜濃度的峰,緩沖區(qū)具有:第一峰,其具有預(yù)先確定的摻雜濃度,且在多個(gè)峰中設(shè)置于最靠近半導(dǎo)體基板的背面?zhèn)鹊奈恢茫灰约案邼舛确?,其具有比第一峰的摻雜濃度高的摻雜濃度,設(shè)置于比第一峰靠半導(dǎo)體基板的上表面?zhèn)鹊奈恢谩?/td>