投影曝光系統(tǒng)及其控制方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210289127.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114755894A 公開（公告）日 2022-07-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114755894A 申請(qǐng)公布日 2022-07-15
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G02B5/30（2006.01）I;G02F1/1337（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 常文博;李月;肖月磊;安齊昌;曹雪;馮昱霖;韓基挏;周毅;王立會(huì);魏秋旭;吳藝凡;曲峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京京東方光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市立方律師事務(wù)所 代理人 -
地址 100176北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)西環(huán)中路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N投影曝光系統(tǒng)及其控制方法，投影曝光系統(tǒng)包括：沿第一方向依次設(shè)置的光源、液晶開關(guān)面板、液晶相位延遲器和相位延遲波片；液晶開關(guān)面板包括多個(gè)陣列排布的液晶微區(qū)開關(guān)，用于將光束轉(zhuǎn)換為第一線偏振光，并控制第一線偏振光是否通過進(jìn)行控制；液晶相位延遲器用于將第一線偏振光的垂直分量和平行分量產(chǎn)生各自的相位延遲，使得垂直分量和平行分量具有設(shè)計(jì)相位差；相位延遲波片用于將液晶相位延遲器輸出的光產(chǎn)生相位延遲，得到并輸出第二線偏振光，第二線偏振光的方位角與設(shè)計(jì)相位差存在對(duì)應(yīng)關(guān)系。采用本申請(qǐng)，無需昂貴的掩膜費(fèi)用，可大面積、高效率、高精度實(shí)現(xiàn)液晶取向微區(qū)控制，具有低成本、可實(shí)時(shí)控制調(diào)諧等優(yōu)勢(shì)。