一種芯片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921351826.7 申請日 -
公開（公告）號 CN211208394U 公開（公告）日 2020-08-07
申請公布號 CN211208394U 申請公布日 2020-08-07
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 原子健;李曉杰;常小明 申請（專利權(quán)）人 濟源艾探電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 卓邦榮
地址 459000河南省濟源市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種芯片清洗裝置，包括外箱，外箱內(nèi)部中間固定有分隔板，分隔板將外箱體分割為上空腔和下空腔，上空腔上設有清洗組件，清洗組件包括清洗箱，清洗箱上沿清洗箱周壁上固定有多個超聲波發(fā)生器，分隔板上固定有超聲波換能器，清洗箱的中部設有置物板，出水口連接有第一管道且第一管道伸出上空腔，下空腔內(nèi)設有過濾組件，過濾組件包括設置在外箱體上的過濾板，過濾板上方設有第二管道，第一管道的伸出端與第二管道的伸出端通過彎管相互連接，外箱體上固定有水泵，水泵的進水口通過管道與下空腔連通，水泵的出水口可通過管道將液體輸送到清洗箱內(nèi)。能夠更高效的對芯片進行清洗，同時能夠?qū)η逑匆哼M行重復使用，提高清洗液的使用效果。