一種基于直寫式光刻機拼板模式下內(nèi)層防呆的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910590633.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110286566B 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN110286566B 申請公布日 2021-08-13
分類號 G03F7/20;G03F9/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 趙美云 申請（專利權）人 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
代理機構 合肥天明專利事務所（普通合伙） 代理人 苗娟;奚華保
地址 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于直寫式光刻機拼板模式下內(nèi)層防呆的方法，可解決直寫式光刻機拼板模式采用多片板子拼板曝光時，現(xiàn)有的翻版方式對位精度較低的技術問題。包括以下步驟：S100、設置兩種形狀不同的標識Mark，對位Mark?A和序列號Mark?B；S200、根據(jù)臺面所能容納光刻機拼板的最大數(shù)量N，確定Mark?B的數(shù)量M；S300、設置Mark?B的編碼，將M個MarkB排列成不對稱的形狀；S400、使用CCD對Mark?A和Mark?B進行圖像采集；S500、對于CCD采集到的一組Mark?B，計算得到光刻機拼板對應的編號I并判斷是左右翻板還是上下翻板；S600、對于CCD采集到的Mark?A，確定鏡像和形變；S700、根據(jù)識別到的對相應編號的光刻拼板圖形進行矯正處理。本發(fā)明可以準確的對拼板圖形進行變換和補償，具備了防呆功能，同時提升了對位精度。