光刻機(jī)及光刻機(jī)的壓板裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120650873.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214375824U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214375824U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 胡剛;陳東;項(xiàng)宗齊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京景聞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 曹雪榮
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓11層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種光刻機(jī)，包括主機(jī)體、工作臺(tái)、壓板裝置。主機(jī)體上設(shè)有光路模塊、驅(qū)動(dòng)模塊，工作臺(tái)的上表面形成為用于放置工件的放置區(qū)；光路模塊與工作臺(tái)的放置區(qū)相對(duì)設(shè)置，工作臺(tái)與主機(jī)體連接，且工作臺(tái)和光路模塊中的至少一個(gè)與驅(qū)動(dòng)模塊連接，以使光路模塊能夠相對(duì)于放置區(qū)在水平方向移動(dòng)。壓板裝置與主機(jī)體固定，且壓板裝置位于光路模塊的至少一側(cè)，壓板裝置與放置區(qū)相對(duì)設(shè)置，壓板裝置被構(gòu)造成為以非接觸方式對(duì)位于工作臺(tái)上的工件施加以抵壓放置區(qū)的作用力。由此，使壓板裝置靠近光路模塊的工作區(qū)域，工作臺(tái)上的工件穩(wěn)定性更高。非接觸式的壓板裝置避免了工件表面可能存在的劃痕或者交叉污染，提高了工件的良率，簡(jiǎn)化了光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)。