離子源的電源裝置及離子源設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120147993.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213752617U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213752617U 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) H01J27/02（2006.01）I;H01J27/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 冀鳴;劉偉基;趙剛;易洪波;劉運(yùn)鴻 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)科技東路39號(hào)之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種離子源的電源裝置及離子源設(shè)備，所示電源裝置包括：連接陽(yáng)極的陽(yáng)極電源，以及連接氣體分配片的氣體分配片電源；所述陽(yáng)極電源向陽(yáng)極提供直流電壓；所述氣體分配片電源在陽(yáng)極電源工作時(shí)向所述氣體分配片提供額外的調(diào)節(jié)電壓，用于調(diào)節(jié)所述陽(yáng)極在氣體分配片上產(chǎn)生的感應(yīng)電壓。該技術(shù)方案，可以避免氣體分配片的感應(yīng)電壓過(guò)高或過(guò)低對(duì)氣體分配片產(chǎn)生的影響，對(duì)氣體分配片起到了有效的保護(hù)作用。