射頻陰極中和器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110085599.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112908817A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112908817A 申請(qǐng)公布日 2021-06-04
分類號(hào) H01J37/30;H01J37/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)科技東路39號(hào)之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種射頻陰極中和器，包括：電離腔室，靶材，維持極，發(fā)射極，以及磁鐵組件；靶材通過(guò)第一絕緣部件設(shè)置在電離腔室底部，維持極和發(fā)射極設(shè)于電離腔室頂部，靶材連接射頻電源，磁鐵組件向電離腔室提供磁場(chǎng)；在工作中，向電離腔室通入工作氣體，利用磁鐵組件產(chǎn)生的磁場(chǎng)和射頻電源輸出的射頻電磁波對(duì)工作氣體進(jìn)行電離產(chǎn)生等離子體；維持極和發(fā)射極用于分離等離子體中的正離子和負(fù)電子，并將負(fù)電子輸出；該技術(shù)方案，使用了電容性射頻驅(qū)動(dòng)的方式驅(qū)動(dòng)中和器，射頻負(fù)載面對(duì)地直流絕緣，對(duì)地等效為電容，具有更高匹配效率，設(shè)備結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單；而且通過(guò)引入磁場(chǎng)和射頻電共同作用，使得等離子體更加活潑，也提高了電離效率。