離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120141830.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213936110U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936110U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01J27/14 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;吳秋生;趙剛;易洪波 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源；所述離子源水冷結(jié)構(gòu)包括：連接氣體分配片的第一導(dǎo)熱平臺，連接離子源的陽極的第二導(dǎo)熱平臺；所述第一導(dǎo)熱平臺和第二導(dǎo)熱平臺通過絕緣隔離部件安裝在離子源底座上；所述絕緣隔離部件與所述第一導(dǎo)熱平臺和第二導(dǎo)熱平臺的連接部位開設(shè)有冷卻水路；所述氣體分配片將熱量傳遞至第一導(dǎo)熱平臺，所述離子源的陽極將熱量傳遞至第二導(dǎo)熱平臺，所述冷卻水路對所述第一導(dǎo)熱平臺和第二導(dǎo)熱平臺進(jìn)行散熱。該技術(shù)方案，實現(xiàn)了氣體分配片和陽極獨立水冷冷卻，明顯提升了離子源的水冷冷卻效果；在維護(hù)時無需拆裝冷卻水路，降低了離子源維護(hù)復(fù)雜度。