一種顆粒硅的拉晶工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111307509.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114016124A | 公開（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114016124A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-08 |
| 分類號(hào) | C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李海明;劉玉斌;王立平;王新強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 雙良硅材料（包頭）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 秦曉君 |
| 地址 | 014062內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市稀土開發(fā)區(qū)濱河新區(qū)翠湖路35號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種顆粒硅的拉晶工藝。向加料桶內(nèi)加顆粒硅，使顆粒硅鋪地，并向爐膛內(nèi)通入氬氣；然后將加料桶堝降至第一預(yù)設(shè)位置，將水冷屏提升至上限位置，通過加料桶向爐膛內(nèi)進(jìn)行第一次顆粒硅加料，并間隔預(yù)設(shè)時(shí)間間隔，通過加料桶向爐膛內(nèi)進(jìn)行N次顆粒硅加料，直至爐膛內(nèi)液體硅的重量達(dá)到預(yù)設(shè)重量，通過上述公開的拉晶工藝，能夠在通過加料桶向爐膛內(nèi)加入顆粒硅過程中，以及在顆粒硅化料過程中，均能夠有效避免液態(tài)硅濺起，進(jìn)而能夠有效減小顆粒硅的引放次數(shù)，提升硅棒的生產(chǎn)效率。 |
