一種降氧拉晶工藝和石英坩堝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111305898.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113981525A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113981525A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類(lèi)號(hào) C30B15/00（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 黃晶晶;吳剛;鞠貴冬;王新強(qiáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 雙良硅材料（包頭）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 秦曉君
地址 014062內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市稀土開(kāi)發(fā)區(qū)濱河新區(qū)翠湖路35號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種降氧拉晶工藝和石英坩堝。通過(guò)對(duì)初次投放的硅料進(jìn)行化料時(shí)，通入氬氣，并通過(guò)爐壓控制控制爐壓為預(yù)設(shè)爐壓；再將爐壓控制關(guān)閉，打開(kāi)主泵，復(fù)投硅料；然后再?gòu)?fù)投硅料結(jié)束后，間隔第二預(yù)設(shè)時(shí)間，將爐壓控制閉環(huán)，通過(guò)上述公開(kāi)的降氧拉晶工藝，能夠加快高溫化料期間所產(chǎn)生的揮發(fā)物排出，減少SiO附著在排氣管道，避免因SiO附著在排氣管道使產(chǎn)生的SiO不能及時(shí)排出，保證排氣管道能夠順暢排氣，進(jìn)而能夠減少揮發(fā)物中的SiO溶于液態(tài)硅中，降低液態(tài)硅中含氧量，避免進(jìn)行氧反切，有效提高成晶率，從而提高產(chǎn)能。