一種POLY-Si臥式背封爐用立式石英舟裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020948851.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211858609U | 公開（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申請公布號 | CN211858609U | 申請公布日 | 2020-11-03 |
| 分類號 | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 寇文輝;苗利剛;胡曉亮 | 申請（專利權(quán)）人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務所（普通合伙） | 代理人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 地址 | 471000河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種POLY?Si臥式背封爐用立式石英舟裝置，包括上擋板、硅片支撐槽棒、硅片定位槽棒和下支撐擋板，所述上擋板和所述下支撐擋板上下對應設(shè)置，上擋板和下支撐擋板之間設(shè)有所述硅片支撐槽棒和所述硅片定位槽棒，硅片支撐槽棒和硅片定位槽棒的頂端均通過焊接方式連接上擋板，硅片支撐槽棒和硅片定位槽棒的底端均通過焊接方式連接下支撐擋板。本實用新型通過下支撐擋板實現(xiàn)石英舟在槳上穩(wěn)定放置，通過四根槽棒實現(xiàn)硅片的水平放置，通過定位槽棒實現(xiàn)硅片在石英舟中的定位，并且保持豎直時的間距一致，實現(xiàn)自動裝片，通過本實用新型所述的石英舟裝置，可使用原臥式石英舟倒片器的通用，有效解決了原臥式石英舟加工存在的不足。?? |
