一種提高氣缸運(yùn)動(dòng)行程的放大伸縮機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020676164.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212584047U 公開(公告)日 2021-02-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN212584047U 申請(qǐng)公布日 2021-02-23
分類號(hào) F15B15/02(2006.01)I; 分類 流體壓力執(zhí)行機(jī)構(gòu);一般液壓技術(shù)和氣動(dòng)技術(shù);
發(fā)明人 賈波;牛海濤;郭光燦;馬龍峰;張明亮 申請(qǐng)(專利權(quán))人 麥斯克電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳佳麗
地址 471000河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種提高氣缸運(yùn)動(dòng)行程的放大伸縮機(jī)構(gòu),涉及硅片陶瓷盤的取料輸送裝置技術(shù)領(lǐng)域,包括上層機(jī)架、中間機(jī)架和底層機(jī)架,中間機(jī)架位于底層機(jī)架和上層機(jī)架之間,底層機(jī)架上平行設(shè)有2條直線導(dǎo)軌,中間機(jī)架通過底層機(jī)架上的直線導(dǎo)軌在底層機(jī)架上滑動(dòng);中間機(jī)架包括對(duì)稱設(shè)置的兩條滑軌,兩條滑軌之間通過位于滑軌一端的連接板固定連接,氣缸的伸出軸與連接板連接,上層機(jī)架通過其底部設(shè)置的軸承與滑軌配合實(shí)現(xiàn)上層機(jī)架在中間機(jī)架上的滑動(dòng)。本實(shí)用新型有益效果:本實(shí)用新型以鋼絲為行程放大機(jī)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)動(dòng)行程大,解決了拋光生產(chǎn)過程中對(duì)載體陶瓷盤進(jìn)行取料困難的問題,實(shí)現(xiàn)了陶瓷盤取料機(jī)構(gòu)的輕便化,為其它拋光設(shè)備取料提供了有效的解決方案。??