一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021914747.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213090881U | 公開（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213090881U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-30 |
| 分類號(hào) | G01F19/00;H01L21/67;B08B3/08;B08B13/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 韓云霄;楊波;李戰(zhàn)國(guó) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 麥斯克電子材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 衛(wèi)煜睿 |
| 地址 | 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶，重力計(jì)量桶位于化學(xué)液供液系統(tǒng)和清洗設(shè)備之間，化學(xué)液供液系統(tǒng)通過進(jìn)液管與重力計(jì)量桶的頂部相連通，重力計(jì)量桶的底部通過注液管道與清洗設(shè)置連接，注液管道上設(shè)置有電子閥，通過清洗設(shè)備藥液信號(hào)控制電子閥的開關(guān)，在重力計(jì)量桶的頂部中心還設(shè)置有排氣口，位于重力計(jì)量桶一側(cè)設(shè)置有連通計(jì)量桶頂部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分別設(shè)置有工作液位傳感器以及下限位傳感器，在重力計(jì)量桶的桶身外壁上還設(shè)置有刻度標(biāo)識(shí)，該裝置使化學(xué)液計(jì)量更加精準(zhǔn)，且能耗更低，穩(wěn)定性更好，為清洗工藝穩(wěn)定性提供有利條件。 |
