一種用于磨片機(jī)磨液的節(jié)流裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021914738.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213673621U 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN213673621U 申請公布日 2021-07-13
分類號 B24B57/02（2006.01）I;B24B7/22（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 韓云霄;楊波;李戰(zhàn)國 申請（專利權(quán)）人 麥斯克電子材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽公信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 衛(wèi)煜睿
地址 471000河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于磨片機(jī)磨液的節(jié)流裝置，包括蠕動泵、出液管、緩存槽、進(jìn)液管、高限位傳感器、低限位傳感器、電子閥和手動閥，所述出液管設(shè)置在所述蠕動泵內(nèi)，出液管的一端連接磨片機(jī)，另一端與所述緩存槽連通，緩存槽內(nèi)腔的底部平鋪有防堵塞斜面，緩存槽的外壁上安裝所述高限位傳感器和所述低限位傳感器，高限位傳感器設(shè)置在低限位傳感器上方，所述電子閥和所述手動閥設(shè)置在進(jìn)液管上，高限位傳感器和低限位傳感器為電子閥提供工作信號。本實(shí)用新型通過磨液溫流裝置可有效節(jié)省生產(chǎn)中磨液消耗及穩(wěn)定磨片工藝、提升研磨硅片質(zhì)量。