一種SiC晶圓拋光液及其制備方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010620169.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111748287A 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN111748287A 申請公布日 2020-10-09
分類號 C09G1/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 汪為磊;劉衛(wèi)麗;霍軍朝;宋志棠;許永輝 申請（專利權）人 上海新安納電子科技有限公司
代理機構 上海泰能知識產權代理事務所 代理人 中國科學院上海微系統與信息技術研究所;上海新安納電子科技有限公司;浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司
地址 200050上海市長寧區(qū)長寧路865號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種SiC晶圓拋光液及其制備方法和應用，按重量百分比，包括如下組分：液相載體35?90％；磨料顆粒0.01?40％；氧化劑0.01?30％。本發(fā)明通過選擇合理的磨料顆粒和氧化劑并進行合理組合，使得拋光液的拋光質量、拋光速率亦獲得很大提升；制備方法簡單，成本低，具有良好的應用前景。??