一種拋光墊

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111506323.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114193319A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114193319A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類(lèi)號(hào) B24B37/22（2012.01）I;B24B37/10（2012.01）I;B24B37/24（2012.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 羅乙杰;張季平;高越;劉敏 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 湖北鼎龍控股股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430057湖北省武漢市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)東荊河路1號(hào)411號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種拋光墊，其中，拋光墊中的緩沖層在施加壓力F0后的應(yīng)力松弛階段t時(shí)刻的回復(fù)力Ft與施加壓力F0的比值與t滿(mǎn)足如下式（1）中的擬合關(guān)系，其中，0≤t≤30s，所述a、b為常數(shù)，且滿(mǎn)足：0.01≤a≤0.1和/或1.0≤b≤1.1，式（1）的擬合優(yōu)度R2≥0.95，滿(mǎn)足上述擬合關(guān)系的緩沖層制備而來(lái)的拋光墊，去除速率曲線(xiàn)及邊緣去除速率在拋光墊的整個(gè)生命周期內(nèi)均保持穩(wěn)定，波動(dòng)較小，研磨速率不均一性NU值較低且波動(dòng)較小。f（t）＝Ft/F0＝?a·ln（t）+b （1）。