一種濕法蝕刻裝置用機械吊臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820660368.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208700441U 公開（公告）日 2019-04-05
申請公布號 CN208700441U 申請公布日 2019-04-05
分類號 B66C23/16（2006.01）I; B66C23/62（2006.01）I; B66C23/82（2006.01）I; B66C3/04（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 郭城; 呂明; 王永超; 郭英云 申請（專利權(quán)）人 山東科芯電子有限公司
代理機構(gòu) 青島高曉專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃曉敏
地址 250101 山東省濟南市章丘明水經(jīng)濟開發(fā)區(qū)明埠路中段東面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種濕法蝕刻裝置用機械吊臂，包括底座、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、旋轉(zhuǎn)桿、液壓缸二、搖臂桿、升降桿、抓手、液壓缸三，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)固定在底座上，所述旋轉(zhuǎn)桿與搖臂桿銷軸鉸接；所述液壓缸二一端固定于旋轉(zhuǎn)桿上，另一端固定于搖臂桿上；所述搖臂桿與升降桿銷軸鉸接；所述抓手與升降桿銷軸鉸接；所述液壓缸三一端固定于升降桿上，另一端固定于抓手上。通過底座處設(shè)置旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，使得機械吊臂能在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)工序之間和不同工位之間的銜接，并通過升降液壓缸控制升降；抓手不但能抓取盛放半導(dǎo)體硅片的花籃，并能在需要時將花籃放開。