一種硅片涂膠操作臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820747960.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208712051U 公開（公告）日 2019-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN208712051U 申請(qǐng)公布日 2019-04-09
分類號(hào) B05C1/06（2006.01）I; B05C13/02（2006.01）I; G03F7/16（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 郭城; 呂明; 王永超; 郭英云 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東科芯電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島高曉專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 黃曉敏
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘明水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)明埠路中段東面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于電子元器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片涂膠操作臺(tái)；其結(jié)構(gòu)包括操作臺(tái)、載柱托板、驅(qū)動(dòng)裝置、晶片載柱和刮抹機(jī)構(gòu)；所述的操作臺(tái)為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，其上表面均勻設(shè)置有若干個(gè)與晶圓片直徑相同的圓孔；操作臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有載柱托板；載柱托板下表面與驅(qū)動(dòng)裝置固定連接，驅(qū)動(dòng)裝置固定設(shè)置在操作臺(tái)內(nèi)部底面；載柱托板上表面固定設(shè)置有與圓孔數(shù)量相同且等高的晶片載柱；晶片載柱的直徑與圓孔的直徑相同；刮抹機(jī)構(gòu)設(shè)置在操作臺(tái)的上表面，用于刮抹操作臺(tái)上的光刻膠；該操作臺(tái)采用晶片載柱與操作臺(tái)上圓孔的配合使用，利用刮抹機(jī)構(gòu)刮抹，提高了晶圓片的涂膠質(zhì)量和生產(chǎn)效率，減少浪費(fèi)，提高光刻膠利用率，大大減輕了工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。