一種晶片清洗加熱石英缸

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120098658.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214391387U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN214391387U 申請(qǐng)公布日 2021-10-15
分類(lèi)號(hào) B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類(lèi) 清潔;
發(fā)明人 郭城;呂明;李充;郭英云;高悅 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東科芯電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山東省濟(jì)南市章丘明水經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)明埠路中段東面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種晶片清洗加熱石英缸，包括石英缸和與其配合的石英缸蓋，所述石英缸為正六面箱體結(jié)構(gòu)，石英缸的四個(gè)側(cè)面和底部均布有加熱絲一，所述石英缸的底部?jī)?nèi)側(cè)設(shè)置有十字凸起，所述石英缸的底部由十字凸起均分成四個(gè)區(qū)域，四個(gè)區(qū)域內(nèi)均設(shè)置有硅片花籃，所述十字凸起為中心斷開(kāi)結(jié)構(gòu)，所述十字凸起的斷開(kāi)處設(shè)有廢液排液口，所述十字凸起內(nèi)部布有加熱絲二，所述石英缸蓋與石英缸活動(dòng)連接，所述石英缸蓋頂部一側(cè)設(shè)有排氣管。本實(shí)用新型在石英缸的底部增設(shè)內(nèi)部布有加熱絲的十字凸起，加熱面積增加，提高了加熱效率；設(shè)置帶有排氣管的石英缸蓋，在一定程度上起到了保溫的作用，降低了生產(chǎn)能耗。