一種噴淋清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120155725.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214417134U 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214417134U 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 郭城;呂明;李充;郭英云;高悅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東科芯電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山東省濟(jì)南市章丘明水經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)明埠路中段東面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶片清洗的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種噴淋清洗裝置，其特征在于：包括清洗液罐和清洗罐，所述清洗液罐與清洗罐連通有清洗液管；所述清洗罐頂部連通有密封蓋，所述密封蓋上連通有排風(fēng)管，所述清洗液管貫穿于清洗罐上部，所述清洗液管連通有噴液管，所述噴液管連接有噴頭，所述清洗罐內(nèi)設(shè)置有花籃，所述花籃底部支撐有支撐塊，所述支撐塊置于清洗罐底部，所述花籃內(nèi)底部設(shè)有晶片固定裝置。本實(shí)用新型使用噴淋方式進(jìn)行晶片清洗，且晶片置于花籃內(nèi)，花籃底部有支撐塊，能夠保證清洗液在與晶片接觸時(shí)濃度的一致性；加裝排氣管、密封蓋以及排液口可以減少清洗過程中溶液的外濺以及溶液蒸汽對(duì)人體和環(huán)境的危害。