一種輔助清洗提拉設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120550347.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214719199U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214719199U 申請公布日 2021-11-16
分類號 B08B11/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 郭城;呂明;李充;郭英云;高悅 申請（專利權(quán)）人 山東科芯電子有限公司
代理機構(gòu) 山東瑞宸知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山東省濟南市章丘明水經(jīng)濟開發(fā)區(qū)明埠路中段東面
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及清洗輔助設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種輔助清洗提拉設(shè)備，包括提拉裝置、花籃承載盤和清洗槽，所述提拉裝置固定連接清洗槽兩側(cè)，所述花籃承載盤置于清洗槽內(nèi)部；所述提拉裝置包括支撐板、控制電源箱、旋轉(zhuǎn)軸、凸輪和電動推桿；所述花籃承載盤底部連接有護板，所述護板上設(shè)置有若干個通孔，所述護板四角處固定向上連接設(shè)有保護柱；所述清洗槽為中空無蓋長方體結(jié)構(gòu)。本實用新型通過控制電源箱控制電動推桿上下運動，從而控制清洗槽內(nèi)花籃承載盤的提拉過程，可以根據(jù)工藝需求調(diào)整提拉速度以及頻率，減少人為因素造成的影響使得清洗后的的晶片良率和一致性更好。