一種感應(yīng)加熱金紅石單晶體生長(zhǎng)爐及其制備金紅石方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510843576.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105369342B 公開(kāi)（公告）日 2017-10-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN105369342B 申請(qǐng)公布日 2017-10-31
分類號(hào) C30B11/00(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 唐堅(jiān);劉旭東;張瑞青;畢孝國(guó);孫旭東;牛微;董穎男 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)旭日晶體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)銘揚(yáng)聯(lián)創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈陽(yáng)工程學(xué)院;沈陽(yáng)旭日晶體科技有限公司
地址 110136 遼寧省沈陽(yáng)市沈北新區(qū)蒲昌路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種感應(yīng)加熱金紅石單晶體生長(zhǎng)爐及其制備金紅石方法，屬于單晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域。解決溫度分布難于精確控制，晶體生長(zhǎng)界面以下軸向溫度梯度較大，晶體中易存在較大的應(yīng)力的問(wèn)題，生長(zhǎng)爐包括：分為上腔體與下腔體的爐殼，第一加熱裝置，包括導(dǎo)電陶瓷管置于上腔體內(nèi)作為加熱段，導(dǎo)電陶瓷管為進(jìn)料口與下腔體的進(jìn)料通道，導(dǎo)電陶瓷管外套設(shè)石英管，石英管外纏繞第一電磁感應(yīng)線圈；設(shè)置在下腔體內(nèi)生長(zhǎng)室，第一加熱裝置下方設(shè)置為生長(zhǎng)室的生長(zhǎng)區(qū)；第二加熱裝置，包括設(shè)置晶體生長(zhǎng)區(qū)的下方的生長(zhǎng)室的保溫層內(nèi)的第二電磁感應(yīng)線圈形成保溫段。本發(fā)明可以做到溫度的變化更加精確，可以根據(jù)需要隨時(shí)調(diào)整晶體生長(zhǎng)的溫度梯度。